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光谱共焦位移传感器可以实现对距离、 透明物体厚度和三维物体形貌等的精密测量。该仪器测量精度高，体积小，操作简单，携带方便。
广泛应用于半导体、光伏、电子组件、汽车、玻璃面板、物流、食品等领域。
1、稳定性好;
2、设备轻巧，便于携带或易于集成自动化测量应用;
3、操作简单，测量精度高。
| 项目 | 参 数 |
| 测量范围 | ±1.5mm |
|---|---|
| 可测玻璃最小厚度 | 0.4mm |
| 工作距离 | 55mm |
| 光斑大小 | 40μm（量程中心位置理论光斑直径） |
| 线性度 | ±1μm（校准后满量程测量时最大误差值） |
| 重复精度 | 1.6μm( 重复取放样品50次) |
| 分辨率 | 0.05μm（测量中信零点平均10次噪声大小程度） |
| 测量头尺寸 | Φ33*75mm |
| 测量头重量 | 150g |
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